- 創(chuàng)新的軟件
- 動態(tài)刻蝕時間調(diào)節(jié)
- 多酸沖洗選項
- 占地面積小

RKD生產(chǎn)的Elite Etch是一臺自動混酸開封機(jī)，通過整合了先進(jìn)的特點使得它可以獲得更高的產(chǎn)能。新開封機(jī)的設(shè)計通過將硝酸、硫酸或混酸精確分配到器件上，可以更加快速和容易的打開較精細(xì)的封裝，而不會損傷樣品。

RKD Elite Etch 酸開封機(jī)內(nèi)包含了眾多工程創(chuàng)新。整體式刻蝕頭組件是由高等級的碳化硅加工而成，可以良好的用來抵抗酸腐蝕。再加上主動氮氣監(jiān)測和清洗系統(tǒng)，這一整體設(shè)計可以在刻蝕后降低殘留在刻蝕頭上酸的發(fā)煙—而對于其它沒如此復(fù)雜的設(shè)計則是一種常見現(xiàn)象。我們這種整體碳化硅選夠縮短加熱時間。

器件壓制組件（壓桿芯頭）是由手動激活的，設(shè)計用于大量的運動。壓桿芯頭正常情況是縮回的，并且僅當(dāng)安全蓋完全關(guān)閉后才伸出。壓桿芯頭的垂直移動保證器件穩(wěn)定在刻蝕頭上，從而消除了無論是器件還是夾具的移動。

在每次開始和結(jié)束刻蝕程序后，安全蓋由手動關(guān)閉和打開。關(guān)閉安全蓋，開始已經(jīng)編制好的刻蝕步驟的程序，打開安全蓋將停止所有刻蝕步驟。所有連接到刻蝕盤的酸管路由快速對稱壓力節(jié)點制成，以消除麻煩的高溫密封問題。

掌上型鍵盤
操作簡單不僅僅體現(xiàn)在RKD的軟件設(shè)計上，即軟件會持續(xù)檢查和保護(hù)系統(tǒng)防止操作失誤，而且體現(xiàn)在簡單而直觀的手持式鍵盤上。只需要簡單的培訓(xùn)，凡是能夠使用手機(jī)的任何人員都可以操作運行Elite Etch開封機(jī)。

通風(fēng)櫥的空間是非常珍貴的，所以我們已經(jīng)設(shè)計了較小的占地面積，同時增強(qiáng)了每一個可能的安全特性。單獨的熱交換器的引入可以將廢酸溫度降低到90攝氏度以下，這允許進(jìn)一步減小系統(tǒng)尺寸---我們僅僅使用一個廢酸瓶。

RKD Engineering集成了雙控制用于所有液體在瓶容器和開封機(jī)之間進(jìn)行耦合。內(nèi)部連接是在特氟龍密封的管路內(nèi)運行的，它可以由瓶子盒的任何一端來供給。瓶子容器裝置內(nèi)包含了液體傳感器，當(dāng)酸從任何一個瓶子中泄露后都會給操作員發(fā)出警告。Elite Etch開封機(jī)即能夠使用500ml美標(biāo)瓶子，也可以使用日本標(biāo)準(zhǔn)的瓶子。

系統(tǒng)安全
對于操作員來說，在任何開封機(jī)上更換酸瓶都具有一定的風(fēng)險。我們已經(jīng)設(shè)計裝配了一個通用旋轉(zhuǎn)鉸鏈?zhǔn)沟酶鼡Q瓶子時沒有任何麻煩。這一通用旋轉(zhuǎn)鉸鏈的詳細(xì)結(jié)構(gòu)顯示如下。另外，瓶子通氣系統(tǒng)可以防止酸氣進(jìn)入瓶子盒內(nèi)。

產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)

尺寸 (w x d x h)
開封機(jī)： 190 x 318 x 305 mm
瓶子組件： 254 x 127 x 279 mm
重量： 大約. 35 lbs.(16 Kg)
氣體壓力： 55 - 70 psi. (N2) or CDA
電源： 90 - 250 VAC
酸溫度范圍： 20℃- 250℃
酸溫度設(shè)定值： 1.0℃- 0.1℃
刻蝕腔(可高達(dá))： 22 x 22 mm

軟件操作規(guī)格
酸的選擇 ：發(fā)煙硫酸/發(fā)煙硝酸/混酸
注意: 所有混合比例都是在泵系統(tǒng)內(nèi)部動態(tài)準(zhǔn)備的。

混酸比例 (硝酸到硫酸比例)： 9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1

刻蝕后沖洗選擇：發(fā)煙硫酸/發(fā)煙硝酸/混酸/無沖洗
注意: 酸的沖洗溫度設(shè)定是根據(jù)刻蝕溫度自動校準(zhǔn)的。

刻蝕時間：1 - 1,800 seconds ( 1秒的增加幅度)
注意: 刻蝕時間能夠在刻蝕期間動態(tài)調(diào)整。

刻蝕形式：
(i) 脈沖刻蝕
(ii) 往復(fù)刻蝕 – 酸脈動
刻蝕溫度范圍：
20℃- 90℃ (硝酸)
20 - 250℃(硫酸)
20 - 100℃ (混酸)

刻蝕劑流量選擇：1 - 6 ml.每分鐘（所有酸和混酸）

操作程序存儲：100 個程序存儲，非易丟失存儲器

軟件升級：通過RS232或USB連接電腦

安全設(shè)計特點
EMO緊急停電源開關(guān)
刻蝕頭安全：超溫保護(hù)傳感器電路
泄露檢查傳感器： (i) 開封機(jī)主體；(ii) 酸瓶盒組件
二級防護(hù)：二級防護(hù)
酸煙霧降低：廢酸熱交換以降低酸煙霧